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GFC
Manual do Utilizador
Aalborg GFC Manual do Utilizador Página 2
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OPERATING MANUAL
1
TABLE OF CONTENTS
3
PIN FUNCTION
7
APPENDIX 1
29
COMPONENTS DIAGRAM
29
APPENDIX 3
35
DIMENSIONAL DRAWINGS
35
GFC17 MASS FLOW CONTROLLER
35
GFC37/47 MASS FLOW CONTROLLER
36
0.875 (22,2)
37
1.39 (35,3)
37
GFC67 MASS FLOW CONTROLLER
38
GFC77 MASS FLOW CONTROLLER
39
CAUTION:
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